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新华社北京6月29日电（记者乌梦达、赵旭）“100年，中国‘芯'”。在庆祝中国共产党建党百年之际，北京航空航天大学科研事情者在5个原子层厚的纳米磁性薄膜上写下这几个字。这个厚度相当于一张通俗打印纸的十万分之一。
6月24日，在北京航空航天大学，集成电路学院科研职员在5个原子层厚的纳米磁性薄膜上写下“100年”。新华社记者鞠焕宗摄
磁性芯片生产历程中，需将纳米磁性薄膜平均铺在晶圆（制作硅半导体集成电路所用的衬底）上。确保所有晶圆完全“躺平”有多灾？北航集成电路学院工艺与装备系西席张学莹示意，其相当于在北京的海淀区地面上平均铺满5层厚的小米粒，且须完全平整，“因此，检测薄膜的平整度尤为要害。”
张学莹先容，科研职员行使检测仪器，通细致小的磁性针尖在薄膜上写字，若字的颜色对比度一致、字迹清晰，则注释薄膜有优越的平均性。完成平整度检测后，将纳米薄膜制成器件，封装后形成芯片。
6月24日，在北京航空航天大学，集成电路学院科研职员（前）在5个原子层厚的纳米磁性薄膜上写下“中国芯”。新华社记者鞠焕宗摄
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该检测仪器，正是由北航集成电路学院科研团队研发的晶圆级磁光克尔测试仪。
北航集成电路学院工艺与装备系主任王新河说，磁性芯片可作为高可靠的信息存储模块和高敏捷的磁信号传感模块，应用于飞机、卫星的控制系统，以及手机电子罗盘、汽车自动驾驶等领域。而磁性芯片生产历程中的磁性薄膜检测这一要害手艺，属于我国耐久被“卡脖子”的手艺。
“对比外洋同类装备，这台仪器在测试精度和速率等方面举行了手艺刷新，实现了自主创新突破。”王新河说。
6月24日，在北京航空航天大学，集成电路学院科研职员在用磁性笔尖检测纳米薄膜的磁性。新华社记者鞠焕宗摄
据领会，该仪器现已应用于科研领域，且预计于今年10月在产业领域投入商用。
早在1993年，中国科学院科研团队就用10个原子摆出“中国”字样，标志着我国可自主实现原子操作。现在，用于誊写“100年，中国‘芯’”的晶圆级磁光克尔测试仪，为具有百亿元市场规模的磁性芯片产业提供装备支持。
从“中国”，到“100年，中国‘芯’”，背后的科研突破成为我国高科技自主创新能力不停提升、国家科技气力延续增强的一个缩影。
“作为科研一线的下层党员，我以为扎实搞研究、实现创新突破，即是我们对建党百年最好的献礼。”张学莹说。
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评论列表 （30条）
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